mks真空规管是什么原理
2023-08-18 分类：百科
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美国MKS真空计按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
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