拉制单晶时断棱的原因有哪些

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单晶拉棒断棱原因分析

1.拆装炉 a) 由于炉膛内壁打扫不干净，在拉晶的过程中挥发物被氩气 吹入埚中随时会断棱，判断的依据是当有大颗粒杂质掉入 埚内时会在单晶棒上留下痕迹。 小颗粒挥发物掉入埚内时 在单晶棒上不会留下痕迹，所以要打开副室或等到拆炉后 检查炉膛内壁是否有不干净的痕迹，一般四条棱线不一起 断。 b) 重锤打扫不干净，在拉晶的过程中重锤上的挥发物被氩气 吹入埚内随时会断棱，一般四条棱线不一起断。 c) 石墨件打扫不干净。 在拉晶的过程中石墨件上的挥发物或 石墨粉被氩气吹入埚内随时会断线，一般四条棱线不一起 断。 d) 在拉晶过程中由于清扫不干净、管道堵塞排气不畅、挥发 物不能及时排出，形成小颗粒落入熔体中，导致断棱，一 般四条棱线不一起断。

2.拉晶工 a) 引晶质量不好未完全消除位错，在放肩或等径 350mm 以内 会断棱，一般对角两条棱线先断。 b) 在等径过程中温度控制不好，或等径参数设置不好等因素 会导致晶体断棱，四条棱一起断。 c) 温度波动太厉害引起断棱，一般是四条棱线一起

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