kmate射频电源怎么设置
2023-08-23 分类：百科
TIPS：本文共有 114 个字，阅读大概需要 1 分钟。
kmate射频电源设置方法：
检查射频电源是否输出正常，入射功率和反射功率比较。如果入射正常，反射很大，检查匹配器。
如果入射功率不能达到设定功率，过小，检查射频电源是否烧毁。
若射频电源和匹配都工作，将气体流量加大，中和器打开，再测
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检查射频电源是否输出正常，入射功率和反射功率比较。如果入射正常，反射很大，检查匹配器。
如果入射功率不能达到设定功率，过小，检查射频电源是否烧毁。
若射频电源和匹配都工作，将气体流量加大，中和器打开，再测
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